@article{Гусев2024разработка, author={Гусев, П.Э.}, title={РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ}, conference={МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ}, publisher={Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова}, year={2024}, pages={538-546}, }