%0 Conference Article
%T РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ
%A Гусев, П.Э.
%K плазмохимическое травление, канавки в кремнии
%J МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ
%D 2024
%P 8
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова