TY  CONF
TI  РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ
KW  плазмохимическое травление
KW  канавки в кремнии
JO  МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ
AU  Гусев, П.Э.
PY  2024
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова