@article{Плотникова2024одномерное,
author={Плотникова, Е.Ю. and Винокуров, А.А. and Арсентьев, А.В.},
title={ОДНОМЕРНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ В КРЕМНИИ И ГЕРМАНИИ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПО МОДЕЛИ ЛИНХАРДА-ШАРФА-ШИОТТА},
conference={МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ},
publisher={Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова},
year={2024},
pages={566-572},
}