%0 Conference Article
%T ОДНОМЕРНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ В КРЕМНИИ И ГЕРМАНИИ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПО МОДЕЛИ ЛИНХАРДА-ШАРФА-ШИОТТА
%A Плотникова, Е.Ю.
%A Винокуров, А.А.
%A Арсентьев, А.В.
%K ионная имплантация, моделирование, p-n переход, распределение концентрации примеси
%J МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ
%D 2024
%P 6
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова