@article{Шацких2025основы,
author={Шацких, М.А. and Макаров, C.Д.},
title={ОСНОВЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ},
conference={ПРОБЛЕМНЫЕ ВОПРОСЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ СИСТЕМ И ПРОЦЕССОВ},
publisher={Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова},
year={2025},
pages={737-740},
}