%0 Conference Article
%T ОСНОВЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
%A Шацких, М.А.
%A Макаров, C.Д.
%K Полупроводник, производство чипов, микропроцессор
%J ПРОБЛЕМНЫЕ ВОПРОСЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ СИСТЕМ И ПРОЦЕССОВ
%D 2025
%P 3
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова