TY  CONF
TI  ОСНОВЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙ
KW  Полупроводник
KW  производство чипов
KW  микропроцессор
JO  ПРОБЛЕМНЫЕ ВОПРОСЫ МОДЕЛИРОВАНИЯ СИСТЕМ И ПРОЦЕССОВ
AU  Шацких, М.А.
AU  Макаров, C.Д.
PY  2025
PB  Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова