%0 Conference Article
%T РАЗРАБОТКА ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ДАННЫМИ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРОИЗВОДСТВ
%A Лу, С..
%A Аникеев, Е.А.
%A Акамсина, Н.В.
%K моделирование, база данных, информационная система, GaN материалы, GaN HEMT устройства
%J МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ – 2025
%D 2025
%P 11
%I Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова