TY CONF TI РАЗРАБОТКА ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ДАННЫМИ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРОИЗВОДСТВ KW моделирование KW база данных KW информационная система KW GaN материалы KW GaN HEMT устройства JO МОДЕЛИРОВАНИЕ ИНФОРМАЦИОННЫХ СИСТЕМ И ТЕХНОЛОГИЙ – 2025 AU Лу, С.. AU Аникеев, Е.А. AU Акамсина, Н.В. PY 2025 PB Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова