LDR 00746naa#a2200157#i#450#
001     RU\\bibl\12394
005     20241127134654.3
100 ## _a20240917b2024####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aРАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ
       _eСтатья/тезисы конференции
210 1# _aВоронеж
       _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова
       _d2024
215 ## _a8 с.
608 ## _aСтатья/тезисы конференции
       _2local
675 ## _aТравление. 621.794.4
       _z
700 #1 _aГусев
       _gП. Э.
856 4# _abibl.vgltu.ru
       _u