00746naa#a2200157#i#4500001001500000005001700015100004100032102000700073200019300080210016900273215001000442608006000452675003400512700002400546856001800570RU\\bibl\1239420241113043633.3##a20240917b2024####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aРАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯeСтатья/тезисы конференции1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2024##a8 с.##aСтатья/тезисы конференции2local##aТравление. 621.794.4#1aГусевgП. Э.4#abibl.vgltu.ru