00746naa#a2200157#i#450# RU\\bibl\12394 20241127133038.3 20240917b2024####ek#y0rusy0150####ca RU РАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ Статья/тезисы конференции Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2024 8 с. Статья/тезисы конференции local Травление. 621.794.4 Гусев П. Э. bibl.vgltu.ru