LDR 01119naa#a2200181#i#450#
001     RU\\bibl\12398
005     20241124000911.7
100 ## _a20240917b2024####ek#y0rusy0150####ca
102 ## _aRU
200 1# _aОДНОМЕРНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ В КРЕМНИИ И ГЕРМАНИИ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПО МОДЕЛИ ЛИНХАРДА-ШАРФА-ШИОТТА
       _eСтатья/тезисы конференции
210 1# _aВоронеж
       _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова
       _d2024
215 ## _a6 с.
608 ## _aСтатья/тезисы конференции
       _2local
675 ## _aЭлектроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц. 621.38
       _aМатериалы. Материаловедение. 620.22
       _z
700 #1 _aПлотникова
       _gЕ. Ю.
700 #1 _aВинокуров
       _gА. А.
700 #1 _aАрсентьев
       _gА. В.
856 4# _abibl.vgltu.ru
       _u