01119naa#a2200181#i#4500001001500000005001700015100004100032102000700073200025700080210016900337215001000506608006000516675024500576700003400821700003200855700003200887856001800919RU\\bibl\1239820241123235006.6##a20240917b2024####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aОДНОМЕРНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ В КРЕМНИИ И ГЕРМАНИИ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПО МОДЕЛИ ЛИНХАРДА-ШАРФА-ШИОТТАeСтатья/тезисы конференции1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2024##a6 с.##aСтатья/тезисы конференции2local##aЭлектроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц. 621.38aМатериалы. Материаловедение. 620.22#1aПлотниковаgЕ. Ю.#1aВинокуровgА. А.#1aАрсентьевgА. В.4#abibl.vgltu.ru