01119naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\12398 20241124000858.7 20240917b2024####ek#y0rusy0150####ca RU ОДНОМЕРНОЕ РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРИМЕСИ В КРЕМНИИ И ГЕРМАНИИ ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ПО МОДЕЛИ ЛИНХАРДА-ШАРФА-ШИОТТА Статья/тезисы конференции Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2024 6 с. Статья/тезисы конференции local Электроника. Фотоэлектроника. Электронные лампы, трубки. Рентгенотехника. Ускорители частиц. 621.38 Материалы. Материаловедение. 620.22 Плотникова Е. Ю. Винокуров А. А. Арсентьев А. В. bibl.vgltu.ru