00792naa#a2200169#i#4500001001500000005001700015100004100032102000700073200012300080210016900203215001000372608006000382675010900442700002600551700002700577856001800604RU\\bibl\1580320250419185605.6##a20250414b2025####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aОСНОВЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙeСтатья/тезисы конференции1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2025##a3 с.##aСтатья/тезисы конференции2local##aПрикладные информационные (компьютерные) технологии. 004.9#1aШацкихgМ. А.#1aМакаровgC. Д.4#abibl.vgltu.ru