00967naa#a2200181#i#4500001001500000005001700015100004100032102000700073200022200080210016900302215001100471608006000482675010900542700002400651700006200675700003000737856001800767RU\\bibl\1671720250820164739.3##a20250729b2025####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aРАЗРАБОТКА ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ДАННЫМИ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРОИЗВОДСТВeСтатья/тезисы конференции1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2025##a11 с.##aСтатья/тезисы конференции2local##aПрикладные информационные (компьютерные) технологии. 004.9#1aЛуgСитянь #1aАникеевgЕвгений Александрович#1aАкамсинаgН. В.4#abibl.vgltu.ru