00967naa#a2200181#i#450# RU\\bibl\16717 20250806132556.3 20250729b2025####ek#y0rusy0150####ca RU РАЗРАБОТКА ИНТЕЛЛЕКТУАЛЬНОЙ СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ДАННЫМИ ДЛЯ МИКРОЭЛЕКТРОННЫХ ПРОИЗВОДСТВ Статья/тезисы конференции Воронеж Воронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова 2025 11 с. Статья/тезисы конференции local Прикладные информационные (компьютерные) технологии. 004.9 Лу Ситянь Аникеев Евгений Александрович Акамсина Н. В. bibl.vgltu.ru