LDR 00842naa#a2200157#i#450# 001 RU\VORONEZHSKIY GOSUDARSTVENNYY LESOTEHNICHESKIY UNIVERSITET IMENI G.F. MOROZOVA\bibl\6a84bdda94fbba14f78794c3 005 20260819074623.3 100 ## _a20240917b2024####ek#y0rusy0150####ca 102 ## _aRU 200 1# _aРАЗРАБОТКА И ИССЛЕДОВАНИЕ ТЕХНОЛОГИИ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОГО ТРАВЛЕНИЯ КРЕМНИЯ _eСтатья/тезисы конференции 210 1# _aВоронеж _cВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозова _d2024 215 ## _a8 с. 608 ## _aСтатья/тезисы конференции _2local 675 ## _aТравление. 621.794.4 _z 700 #1 _aГусев _gП. Э. 856 4# _abibl.vgltu.ru _u