00888naa#a2200169#i#4500001011100000005001700111100004100128102000700169200012300176210016900299215001000468608006000478675010900538700002600647700002700673856001800700RU\VORONEZHSKIY GOSUDARSTVENNYY LESOTEHNICHESKIY UNIVERSITET IMENI G.F. MOROZOVA\bibl\6a84bdeb94fbba14f787a21020260819114059.3##a20250414b2025####ek#y0rusy0150####ca##aRU1#aОСНОВЫ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ТЕХНОЛОГИЙeСтатья/тезисы конференции1#aВоронежcВоронежский государственный лесотехнический университет имени Г.Ф. Морозоваd2025##a3 с.##aСтатья/тезисы конференции2local##aПрикладные информационные (компьютерные) технологии. 004.9#1aШацкихgМ. А.#1aМакаровgC. Д.4#abibl.vgltu.ru